Bình Dương là một phần của tỉnh Thủ Dầu Một xưa kia.

Tỉnh Thủ Dầu Một được thành lập tháng 12 năm 1899, từ Sở Tham biện Thủ Dầu Một, tách từ tỉnh Biên Hòa.

Tháng 10 năm 1956, chính quyền Việt Nam Cộng hòa giải thể tỉnh Thủ Dầu Một để thành lập các tỉnh Bình Dương, Bình Long và một phần tỉnh Phước Long. Như vậy Bình Dương là một trong 22 tỉnh của Nam Phần được chính quyền Việt Nam Cộng Hòa thiết lập theo Sắc lệnh số 143-NV ngày 22 tháng 10 năm 1956. Tỉnh lị là Phú Cường, Thủ Dầu Một. Tỉnh Bình Dương bao gồm 5 quận, 10 tổng, 60 xã.

Ngày 30 tháng 8 năm 1957, trong đó các quận là quận Châu Thành, Lái Thiêu, Bến Cát, Trị Tâm, Củ Chi.

Năm 1959, cắt một phần đất, cùng với phần đất của 2 tỉnh Biên Hòa và tỉnh Phước Long lập ra tỉnh Phước Thành.

Tỉnh này tồn tại đến năm 1965 thì giải thể. Ngày 18 tháng 12 năm 1963, lập thêm quận Phú Hòa, quận lị đặt tại Bến Cỏ, xã Phú Hòa Đông.

Đến ngày 18 tháng 5 năm 1968 dời về xã Tân Hòa. Quận Phú Hòa hiện nay nhập với quận Củ Chi thành huyện Củ Chi thuộc Thành phố Hồ Chí Minh.